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12インチウエハー対応 小型リフロー炉｜C4バンプ・低酸素・400℃対応
UNI-6131
12インチウエハー（搬送幅310mm）に対応した小型リフロー炉UNI-6131は、全長2m以下というコンパクト設計でありながら、6ゾーン加熱＋冷却構造により量産リフローラインと同等のプロファイル再現を実現。低酸素濃度環境や最大400℃の高温プロセスにも対応し、C4バンプ形成から試作・開発、熱評価まで幅広い用途に対応します。「小型では再現できない」という常識を覆す、半導体向け高機能リフロー炉です。
基本仕様
| ゾーン数 | 加熱6ゾーン / 冷却1ゾーン |
| 加熱方式 | 上下熱風＋遠赤外線加熱方式 |
| 最大設定温度 | 上部350℃ / 下部350℃ |
| 基板有効幅 | 50～310mm |
| 搬送方式（選択式） | ピンチェーン搬送 / メッシュ搬送 |
| 搬送速度 | 0.1～0.5m/min |
| 部品有効高さ | 上面10mm / 下面10mm（※ラビリンス上下機構により高さ調整可） |
| 酸素濃度計 | 標準搭載 |
| 対応言語 | 日・英・中・韓 |
| PCコンセント | 1個（100V） |
| 基板乗せ代（ピンチェーン搬送） | 4mm |
| パスライン | 900±20mm |
| 入力電源 | AC200V 3φ 15kVA 44A（ピーク電力抑制モード） |
| 安定時消費電力 | 約5kW/h |
| 装置寸法 | L1,990×D1,320×H1,410mm |
| 装置重量 | 800kg |
オプション
| 自動幅調整機構 |
| 過昇温防止装置 |
| 基板落下センサー |
| 簡易メンテナンス式フラックス回収 |
| UPS（無停電電源装置） |
| 酸素濃度コントローラー |
| N2全ゾーン供給 |
| 酸素濃度全ゾーンサンプリング |
| 低酸素濃度仕様（100ppm以下） |
| ラビリンス上下機構 |
| 出入口コンベア延長 |
| 循環ファン停止検出 |
| フードインターロック |
| リフローチェッカー（プロファイル測定ユニット） |
| 各種コンベア（搬送コンベア・冷却コンベア・ローダー・アンローダー） |
| 各種カスタマイズ対応 |
掲載仕様・オプション以外にも、用途やプロセス条件に応じたカスタマイズ対応が可能です。
特殊仕様や個別要件についても、お気軽にご相談ください。また、UNI-6131の詳細仕様をまとめたPDFカタログを下記よりダウンロードいただけます。
仕様だけでは判断が難しい場合、掲載仕様にとらわれず最適な加熱プロセスをご提案いたしますので、下記フォームよりお気軽にご相談ください。